Mete za raspršivanje se prema obliku mogu podijeliti na ravne mete i rotirajuće mete. Planarne mete su duge mete, četvrtaste mete ili okrugle mete određene debljine i sl., koje se izrađuju vezanjem blanko mete i podložne ploče. Tijekom raspršivanja, ciljni uzorak i supstrat su paralelni jedni s drugima, a elektromagnetsko polje se formira između ciljnog uzorka i supstrata. Rotirajuće mete su cjevaste mete, a elektromagnetsko polje se formira prema podlozi tijekom raspršivanja. Planarne mete su svestranije, ali imaju nižu stopu iskorištenja; rotirajuće mete imaju veću stopu iskorištenja, ali lošu ujednačenost premaza.
Prednosti rotirajućih meta
1. Rotirajuće mete imaju veću iskoristivost materijala
Rotirajuće mete mogu ravnomjerno potrošiti površinu mete tijekom rotacije, čime se poboljšava iskoristivost materijala mete, koja obično može doseći 70%-90%. Međutim, budući da je samo jedna fiksna strana planarne mete uključena u raspršivanje, "utori" ili "jame" će se formirati tijekom upotrebe, što će rezultirati neravnomjernom potrošnjom materijala, a stopa iskorištenja materijala je općenito 30%-40%. Za skupe mete (kao što su plemeniti metali ili materijali rijetkih zemalja), rotirajuće mete mogu značajno smanjiti troškove i poboljšati ekonomske koristi.
2. Rotirajuće mete imaju bolju ujednačenost raspršivanja
Rotirajuće mete neprestano se okreću tijekom rada, tako da je svaka pozicija na površini mete ravnomjerno izložena plazmi, stvarajući ravnomjerniju brzinu raspršivanja. To ima očite prednosti za aplikacije s visokim zahtjevima za jednoličnost filma (kao što su zasloni i poluvodički procesi). Planarne mete sklone su neravnomjernoj debljini filma zbog lokalnog prekomjernog-prskanja, posebno u-podlogama velike{3}}površine ili kontinuiranoj proizvodnji.
3. Rotirajuće mete imaju dulji vijek trajanja
Budući da rotirajuće mete troše više ujednačenog materijala, njihov vijek trajanja je obično duži nego kod ravnih meta. To znači da je pod istim radnim uvjetima učestalost zamjene rotirajuće mete manja, što smanjuje zastoje opreme i poboljšava učinkovitost proizvodnje. Za neke kontinuirane proizvodne procese, kao što je premazivanje velike-površine i premazivanje-na-valjku, rotirajući cilj može značajno produljiti proizvodni ciklus i smanjiti troškove održavanja.
4. Rotirajuće mete imaju veću kvalitetu filma
Sloj filma koji raspršuje rotirajuća meta je gušći i ujednačeniji, što je prikladno za neke primjene s iznimno visokim zahtjevima za kvalitetom filma (kao -proizvodnja vrhunskih elektroničkih uređaja i poluvodičkih uređaja). To je zato što rotirajuća meta može učinkovito smanjiti nedostatke uzrokovane neravnomjernim raspršivanjem na površini mete i poboljšati kvalitetu i konzistenciju sloja filma.
Zaključak
U usporedbi s ravnim metama, rotirajuće mete imaju veću iskoristivost materijala, dulji radni vijek, ujednačeniji učinak raspršivanja i prilagodljivost velikom-površinu i velikoj-količinskoj proizvodnji. To čini rotirajuće mete važnim izborom u polju modernog taloženja tankog filma, posebno u-premazivanju velikih površina, kontinuiranoj proizvodnji i-proizvodnji vrhunskih elektroničkih uređaja.