Mete za raspršivanje nikal-kobalt-legura željeza sadrže određene udjele nikla (Ni), kobalta (Co) i željeza (Fe). Ove se legure izrađuju u planarne ili rotirajuće mete za raspršivanje i koriste se u industriji poluvodiča, fotonaponskih uređaja, precizne optike i funkcionalnih premaza. Priprema ovih legura je specifična i zahtijeva obraćanje pažnje na detalje kako bi se postigao ujednačen kemijski sastav, gustoća čvrstog -agregatnog stanja, ujednačena granulacija i kvaliteta površina.
Metoda pripreme meta za raspršivanje od legure nikla-kobalta-željeza
Taljenje sirovina: Blokovi nikla, kobalta i željeza visoke čistoće se razmjenjuju i stavljaju u vakuumsku indukcijsku peć za taljenje. Materijali se zagrijavaju pod vakuumom dok se potpuno ne rastale i miješaju kako bi se spriječilo odvajanje sastava.
Lijevanje i oblikovanje: Rastaljena legura nikal-kobalt-željezo se izlije u grafitni kalup i ohladi kako bi se dobila legirana gredica i spriječilo stvaranje grubih zrna.
Kovanje i valjanje: legure su podvrgnute-postupcima kovanja i vrućeg valjanja na visokoj temperaturi kako bi se razbila struktura odljevka.
Strojna obrada i lijepljenje: materijal od legure nikla-kobalta-željeza se pili-rezuje u obliku i sintetizira.
Upotreba meta za prskanje od legure nikla-kobalta-željeza
Integrirani krugovi, gdje se koristi za bakarne slojeve difuzijske barijere, Ta/CoFe dvoslojne elektrode i slojeve bez magnetskih tunelskih spojeva (MTJs).
Tanko{0}}slojne solarne ćelije, gdje služi kao stražnja elektroda ili tamponski sloj za poboljšanje ohmičkog kontakta i otpornost na vremenske uvjete.
MEMS i senzori gdje se koristi u proizvodnji induktora s malim-gubicima, magnetskih zaštitnih slojeva i mikro-magnetskih pokretača.
Površinski funkcionalni premazi gdje se koristi kao -otporan na habanje, koroziju-i ukrasni premaz za automobilske dijelove, pričvršćivače za zrakoplovstvo i biomedicinske implantate.
